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【简答题】

衬底的材料有()和()

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举一反三

【单选题】气相外延制备n+/p-Si时,结果pn结进入了衬底,这是什么原因造成的()

A.
自掺杂效应
B.
互扩散效应
C.
衬底表面没清洗干净的缘故
D.
掺杂气体不纯
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