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【简答题】

离子注入法要比扩散掺杂法速度快,但会带来晶格损伤,消除晶格损伤的常见方法是

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参考答案:
举一反三

【单选题】焊接速度快时( )。

A.
不易形成焊瘤
B.
焊道变窄;
C.
熔深变浅;
D.
熔深变深;

【多选题】离子注入有下面哪种特点:

A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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【多选题】离子注入有下面哪种特点:
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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