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【单选题】

离子注入机中,用于筛除同位素,保障高纯度离子注入的装置是

A.
萃取电极
B.
质谱仪
C.
加速电极
D.
电荷中性化系统
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参考答案:
举一反三

【多选题】离子注入有下面哪种特点:

A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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