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【简答题】

简述反应离子刻蚀。

题目标签：反应离子刻蚀离子刻蚀刻蚀
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【简答题】刻蚀模
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【简答题】刻蚀有哪些参数？
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【简答题】简述反应离子刻蚀。
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【单选题】刻蚀机药槽有几个（）
A.
1
B.
2
C.
3
D.
4
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【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是
A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
查看完整题目与答案

【简答题】什么是干法刻蚀？
查看完整题目与答案

【简答题】阐述反应离子刻蚀的特点。
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【单选题】刻蚀下料机的作用是
A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜
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【简答题】什么是刻蚀？
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【多选题】⑯ 干法刻蚀
A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤，要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液
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A.
1
B.
2
C.
3
D.
4
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A.
稀释碱
B.
去PSG（磷硅玻璃）丨稀释酸丨腐蚀硅片表面
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A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜
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A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤，要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液
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