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【判断题】

离子注入机中,处于末端的离子阻挡器内安装有法拉第电流检测器,用于检测离子流的稳定性。

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【多选题】上传送机构阻挡器调节步骤是()

A.
确保系统关机
B.
确保气路切断
C.
调节上传送机构阻挡器距离位置
D.
固紧阻挡器

【单选题】P/V阀火焰阻挡器设在()。

A.
内圆筒顶部
B.
外圆筒顶部
C.
内外圆筒顶部
D.
内外圆筒中间

【单选题】离子注入机中离子产生说法正确的是()

A.
通过热电子轰击气体原子,离子源产生离子
B.
热电子通常由热钨丝源产生
C.
I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体
D.
其余都正确

【单选题】离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度?()

A.
通过控制注入速度(能量)
B.
通过控制注入电压
C.
通过控制注入电流
D.
通过控制注入电阻
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A.
内圆筒顶部
B.
外圆筒顶部
C.
内外圆筒顶部
D.
内外圆筒中间
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A.
通过热电子轰击气体原子,离子源产生离子
B.
热电子通常由热钨丝源产生
C.
I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体
D.
其余都正确
【单选题】离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度?()
A.
通过控制注入速度(能量)
B.
通过控制注入电压
C.
通过控制注入电流
D.
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