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【简答题】

杂质在主体晶格中的扩散方式中,为什么填隙杂质比替位杂质扩散快?

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举一反三

【多选题】影响硅片扩散后杂质扩散浓度的因素是______。

A.
管内气体中杂质源的浓度
B.
氮气浓度
C.
扩散温度
D.
扩散时间
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