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【单选题】

我国目前广泛应用三氯氢硅氢还原法制备多晶硅。制备三氯氢硅的反应为:
Si(s)+3HCl(g) ='=' SiHCl3(g)+H2(g)ΔH='-210' kJ/mol。
伴随的副反应有:Si(s)+4HCl(g) ='=' SiCl4(g)+2H2(g)ΔH='-241' kJ/mol。
SiCl4在一定条件下与H2反应可转化为SiHCl3,反应的热化学方程式为:

A.
SiCl4+H2 ='=' SiHCl3+HClΔH=' +31' kJ/mol
B.
SiCl4+H2 ='=' SiHCl3+2HCl ΔH=' -31' kJ/mol
C.
SiCl4(g)+H2(g) ='=' SiHCl3(g)+HCl(g) ΔH='+31' kJ/mol
D.
SiCl4(g)+H2(g) ='=' SiHCl3(g)+2HCl(g) ΔH=' -31' kJ/mol
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举一反三

【多选题】四氯化碳还原法还原UF6与氢还原法相比,其缺点是()。

A.
操作裕度小
B.
对工艺条件的控制要求较为严格
C.
还原剂四氯化碳的消耗量大
D.
尾气组成复杂
E.
氟氯甲烷的组成不恒定,以致回收和利用都困难

【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至( )系统

A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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D.
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E.
氟氯甲烷的组成不恒定,以致回收和利用都困难
【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至( )系统
A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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