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【填空题】
CZ直拉法的目的是()。
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【填空题】CZ直拉法的目的是()。
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电子与通信技术>集成电路工艺原理考试题目
【多选题】与区熔法相比,直拉法的优点主要有( )
A.
可制备大直径单晶
B.
设备成本相对较低,总体生产成体低
C.
硅原料的要求相对较低
D.
杂质含量低
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【简答题】CZ直拉法的目的是()。
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【简答题】直拉法制备硅单晶时,常常含有的杂质包括
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