研究发现，PECVD法制备多晶硅薄膜时存在三种生长情况：情况一：在高H2浓度稀释的情况下，多晶硅晶粒呈柱状生长，生长速率较高；情况二：近非晶硅生长情况，晶粒呈柱状或树枝状生长，但尺寸很小，晶粒之间有非晶硅；情况三：非晶硅生长情况，只有细小的微晶硅颗粒镶嵌在非晶硅薄膜之中 。其中第（ ）种情况中的多晶硅薄膜所制备的太阳能电池效率最高。