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【简答题】
比较SiHCl
3
氢还原法和硅烷法制备高纯硅的优缺点。
题目标签:
高纯硅
氢还原法
优缺点
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参考答案:
举一反三
【多选题】四氯化碳还原法还原UF6与氢还原法相比,其缺点是()。
A.
操作裕度小
B.
对工艺条件的控制要求较为严格
C.
还原剂四氯化碳的消耗量大
D.
尾气组成复杂
E.
氟氯甲烷的组成不恒定,以致回收和利用都困难
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A.
SiCl 4 +H 2 ='=' SiHCl 3 +HClΔH=' +31' kJ/mol
B.
SiCl 4 +H 2 ='=' SiHCl 3 +2HCl ΔH=' -31' kJ/mol
C.
SiCl 4 (g)+H 2 (g) ='=' SiHCl 3 (g)+HCl(g) ΔH='+31' kJ/mol
D.
SiCl 4 (g)+H 2 (g) ='=' SiHCl 3 (g)+2HCl(g) ΔH=' -31' kJ/mol
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