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【单选题】

三氯氢硅在常温常压下呈什么状态

A.
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举一反三

【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至( )系统

A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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