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【判断题】
外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。
A.
正确
B.
错误
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举一反三
【多选题】在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。
A.
均匀性
B.
表面平整度
C.
自由应力
D.
纯净度
E.
电容
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