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【判断题】

离子注入不可以使用金属薄膜作为掺杂掩膜。

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举一反三

【多选题】离子注入有下面哪种特点:

A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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