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【单选题】

属于化学气相淀积的是( ) ( 1 )蒸发 ( 2 )溅射 ( 3 )硅烷热分解淀积多晶硅 ( 4 )硅烷氧化生成 SiO 2

A.
⑴⑵
B.
⑴⑶
C.
⑵⑷
D.
⑶ ⑷
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举一反三

【多选题】多晶硅材料按照纯度可以分为

A.
冶金硅
B.
太阳能级
C.
电子级
D.
砂子级

【单选题】直熔法生长的铸造多晶硅的主要特点是()

A.
利用高频感应线圈和辅助线圈加热多晶硅棒
B.
每一炉需要消耗一支坩埚
C.
有种晶、引细颈、放肩过程

【多选题】下列属于多晶硅制备的方法有()

A.
硅烷法
B.
流化床法
C.
改良西门子法
D.
浮游带熔融法
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B.
每一炉需要消耗一支坩埚
C.
有种晶、引细颈、放肩过程
【多选题】下列属于多晶硅制备的方法有()
A.
硅烷法
B.
流化床法
C.
改良西门子法
D.
浮游带熔融法
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