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【判断题】
造成反常短沟道效应的原因是由于氧化扩散增强工艺,使得源漏区向沟道处发生了额外的杂质扩散。
A.
正确
B.
错误
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举一反三
【多选题】如图所示，一高压晶闸管的P型区杂质扩散分为两步，第一次低浓度深扩散，第二次较高浓度，于是P型区的杂质分布为较高浓度区（P区）和较低浓度区（P-区），这样做的目的是（ ）。
A.
加速开通速度
B.
低浓度深扩散降低J1结和J2结前沿的浓度梯度，提高阻断电压
C.
高浓度杂质扩散提高注入效率，减小通态压降
D.
加速关断
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A.
加速开通速度
B.
低浓度深扩散降低J1结和J2结前沿的浓度梯度，提高阻断电压
C.
高浓度杂质扩散提高注入效率，减小通态压降
D.
加速关断
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