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【判断题】
化学机械抛光CMP设备中的抛光区域温度升高，抛光速率会减小，但是温度过高过低均会引起抛光质量下降。
A.
正确
B.
错误
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参考答案：
举一反三
【单选题】采用机械抛光时砂纸和油石的选取一般按照（ ）的顺序进行选取进行抛光。
A.
先大目数再小目数
B.
先小目数再大目数
C.
先大目数再小目数，最后再用大目数
D.
无顺序要求
【单选题】温度升高 100K ,下列反应的 D S ( )。 NH 3 (g) + 3Cl 2 (g) = N 2 (g) + 6HCl (g) △H θ 298 = - 461.5 kJ / mol
A.
>> △S θ 298
B.
<θ 298
C.
≈ △S θ 298
D.
≡△S θ 298
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先大目数再小目数，最后再用大目数
D.
无顺序要求
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A.
>> △S θ 298
B.
<θ 298
C.
≈ △S θ 298
D.
≡△S θ 298
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