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刻蚀模

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举一反三

【单选题】SCHMID刻蚀机酸洗的作用是

A.
稀释碱
B.
去PSG(磷硅玻璃)丨稀释酸丨腐蚀硅片表面

【多选题】刻蚀减薄量道间差的原因有()。

A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常

【单选题】刻蚀下料机的作用是

A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜

【多选题】⑯ 干法刻蚀

A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤,要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液

【多选题】刻蚀法可以分为( )。

A.
化学刻蚀
B.
激光毛化
C.
光刻蚀
D.
电子束刻蚀
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A.
滚轮水平
B.
药液流速
C.
O-ring圈变形
D.
补液异常
【单选题】刻蚀下料机的作用是
A.
将刻蚀后硅片收集插入花篮
B.
制造倒金字塔绒面
C.
制PN结
D.
镀膜
【多选题】⑯ 干法刻蚀
A.
为平行平板反应离子刻蚀
B.
被刻蚀材料与光刻胶刻蚀速率比尽量小些好
C.
存在缺陷和污染等物理损伤,要采取措施处理
D.
要用到刻蚀液
【多选题】刻蚀法可以分为( )。
A.
化学刻蚀
B.
激光毛化
C.
光刻蚀
D.
电子束刻蚀
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