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【简答题】

为何目前的油扩散泵都是做成多级的?

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举一反三

【多选题】油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。

A.
防止扩散油分子回流到真空室
B.
加快排氣速度
C.
防止杂物掉入扩散泵
D.
提高膜层附着力
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A.
防止扩散油分子回流到真空室
B.
加快排氣速度
C.
防止杂物掉入扩散泵
D.
提高膜层附着力
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