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【单选题】

磁控溅射是在()靶面上安装一个环状磁靶以使二次电子跳跃式地沿着环状磁场转圈,离子轰击靶面产生的二次电子。

A.
阳极
B.
阴极
C.
阳极或阴极
D.
阳极和阴极
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举一反三

【单选题】磁控溅射与二级溅射相比的特点是( )

A.
镀膜速率慢
B.
靶材利用率高
C.
基片温度低、损伤小
D.
结构简单

【多选题】以下哪些是磁控溅射的特点

A.
溅射参数不易独立控制,工艺重复性差
B.
基片温升低,辐照损伤小
C.
工作气压较低,靶电流密度高
D.
基板的温升高,辐照损伤大
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A.
溅射参数不易独立控制,工艺重复性差
B.
基片温升低,辐照损伤小
C.
工作气压较低,靶电流密度高
D.
基板的温升高,辐照损伤大
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