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【判断题】

离子注入是一个非平衡过程,注入元素不受扩散系数、固溶度和平衡相图的限制。

A.
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B.
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举一反三

【多选题】轴向分散系数与扩散系数,下面论述正确的是()

A.
两者实质上是相同的,都符合Fick定律
B.
两者实质上是不同的,轴向分散系数的定义实际上是借用了Fick定律的形式
C.
轴向分散系数是与流动有关系的
D.
扩散系数是物质本身的一种属性

【单选题】影响扩散系数的因素较多,其中,()。

A.
溶质原子的熔点越高,其在固溶体中的扩散系数就越小;
B.
溶质原子在元素周期表中距离基体溶剂原子越近,其扩散系数就越大;
C.
FCC-Fe 的自扩散系数大于 BCC-Fe 的自扩散系数;
D.
以上都不对

【多选题】离子注入有下面哪种特点:

A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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D.
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【单选题】影响扩散系数的因素较多,其中,()。
A.
溶质原子的熔点越高,其在固溶体中的扩散系数就越小;
B.
溶质原子在元素周期表中距离基体溶剂原子越近,其扩散系数就越大;
C.
FCC-Fe 的自扩散系数大于 BCC-Fe 的自扩散系数;
D.
以上都不对
【多选题】离子注入有下面哪种特点:
A.
掺入杂质的浓度可高于该杂质在硅中的固溶度
B.
掺杂可控性好于扩散
C.
工艺方法简单、成本低
D.
与扩散相比离子注入杂质分布横向效应小
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