质厚衬度是由于试样不同区域的厚度、密度或者平均（ ）不同，对电子束散射能力产生差异。某区域散射作用越强，更多的散射的电子被光阑阻挡，参与成像的电子束强度就越低，该区域的电子像就会暗一些。