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【单选题】
工业上最常用的多晶硅制备方法是（）。A. 三氯氢硅的氢还原法B. 直拉法C. 区熔法D. 沉积法
A.
沉积法
B.
直拉法
C.
区熔法
D.
三氯氢硅的氢还原法
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举一反三
【多选题】四氯化碳还原法还原UF6与氢还原法相比，其缺点是()。
A.
操作裕度小
B.
对工艺条件的控制要求较为严格
C.
还原剂四氯化碳的消耗量大
D.
尾气组成复杂
E.
氟氯甲烷的组成不恒定，以致回收和利用都困难
【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至（ ）系统
A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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