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【单选题】

工业上最常用的多晶硅制备方法是()。A. 三氯氢硅的氢还原法B. 直拉法C. 区熔法D. 沉积法

A.
沉积法
B.
直拉法
C.
区熔法
D.
三氯氢硅的氢还原法
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举一反三

【单选题】直熔法生长的铸造多晶硅的主要特点是()

A.
利用高频感应线圈和辅助线圈加热多晶硅棒
B.
每一炉需要消耗一支坩埚
C.
有种晶、引细颈、放肩过程

【多选题】四氯化碳还原法还原UF6与氢还原法相比,其缺点是()。

A.
操作裕度小
B.
对工艺条件的控制要求较为严格
C.
还原剂四氯化碳的消耗量大
D.
尾气组成复杂
E.
氟氯甲烷的组成不恒定,以致回收和利用都困难

【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至( )系统

A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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B.
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A.
操作裕度小
B.
对工艺条件的控制要求较为严格
C.
还原剂四氯化碳的消耗量大
D.
尾气组成复杂
E.
氟氯甲烷的组成不恒定,以致回收和利用都困难
【单选题】、 24对棒三氯氢硅汽化器的超压联锁程序启动后废气将泄至( )系统
A.
12对棒尾气总管
B.
24对棒及36对棒尾气总管
C.
24对棒及36对棒含氢废气总管
D.
24对棒及36对棒
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