通过放大成像以观察表面形貌为主要用途的仪器,统称为 ;通过表面不同的发射谱以分析表面成分、结构为主要用途的仪器,统称为 ;显微镜与分析谱仪的组合仪器,这类仪器主要是将分析谱仪作为显微镜的一个组成部分,它们在获得高分辨图像的同时还可获得 和 。