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【单选题】

不影响三氯氢硅氢还原的因素是

A.
氢还原反应及沉积温度
B.
反应混合气配比
C.
反应气体流量
D.
三氯氢硅的纯度
E.
沉积表面积
F.
还原反应时间
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