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【多选题】
对于离子注入机，下列说法正确的是
A.
离子源负责产生等离子体，其中离子用于后续离子注入。
B.
抑制电极可以有效防止被加速的离子撞击电极产生的二次电子向离子源系统的轰击。
C.
前加速电极用于加速离子并轰击晶圆，后加速电极用于加速离子便于质谱仪提纯。
D.
晶圆表面因离子轰击会积累正电荷，因此极板需接地，中和多余正电荷。
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【单选题】离子注入机中离子产生说法正确的是（）
A.
通过热电子轰击气体原子，离子源产生离子
B.
热电子通常由热钨丝源产生
C.
I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体
D.
其余都正确
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D.
其余都正确
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