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【简答题】

涡轮分子泵对什么气体的抽速较大?为什么?

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举一反三

【多选题】涡轮分子泵的特点之一是: 可获得 ( ) 的极限真空 。

A.
10 -2 -10 -6 Torr
B.
10 -6 -10 -10 Torr
C.
1.3 × 10 -2 -1.3 × 10 -6 Pa
D.
1.3 × 10 -4 -1.3 × 10 -8 Pa

【多选题】镀膜机抽速慢,以下哪些可能会引起?()

A.
各类泵油使用时间太长,已变质
B.
POLYCOLD有问题
C.
真空室的清洁不到位
D.
机器有漏气
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D.
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A.
各类泵油使用时间太长,已变质
B.
POLYCOLD有问题
C.
真空室的清洁不到位
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