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【简答题】

溅射成膜的优缺点有哪些?

题目标签：溅射优缺点
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A.
高电压电源
B.
磁铁
C.
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D.
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A.
溅射参数不易独立控制，工艺重复性差
B.
基片温升低，辐照损伤小
C.
工作气压较低，靶电流密度高
D.
基板的温升高，辐照损伤大
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A.
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B.
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D.
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电子
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A.
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