由氟化反应器排出的气体中，除含有UF6、F2和作为稀释气的N2以外，还含有少量的HF、O2等不凝性气体。此混合气体在冷凝器中，绝大部分的UF6被冷凝成固体，排出的不凝性气体中还含有()%的F2。