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【单选题】
磁控溅射台上分子泵与真空镀膜机中的哪个部件功能类似?
A.
机械泵
B.
油扩散泵
C.
热偶计
D.
真空泵
题目标签:
分子泵
磁控溅射
真空镀膜机
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举一反三
【简答题】磁控溅射主要有哪几种?特点是什么?
查看完整题目与答案
【单选题】磁控溅射与二级溅射相比的特点是( )
A.
镀膜速率慢
B.
靶材利用率高
C.
基片温度低、损伤小
D.
结构简单
查看完整题目与答案
【判断题】分子泵必须在一定的真空度下才能有效的运行。
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案
【多选题】涡轮分子泵的特点之一是: 可获得 ( ) 的极限真空 。
A.
10 -2 -10 -6 Torr
B.
10 -6 -10 -10 Torr
C.
1.3 × 10 -2 -1.3 × 10 -6 Pa
D.
1.3 × 10 -4 -1.3 × 10 -8 Pa
查看完整题目与答案
【多选题】真空镀膜机包括:
A.
真空镀膜室
B.
测量系统
C.
抽气系统
查看完整题目与答案
【判断题】分子泵打开时,需要将机械泵关闭。
A.
正确
B.
错误
查看完整题目与答案
【简答题】磁控溅射的原理:
查看完整题目与答案
【单选题】涡轮分子泵的排气速度S=8000L/s,节流装置参与排气时的实际排气速度Sc=300L/s,节流装置的流导C约等于()L/s
A.
3.117
B.
31.17
C.
311.7
D.
3117
查看完整题目与答案
【简答题】涡轮分子泵对什么气体的抽速较大?为什么?
查看完整题目与答案
【单选题】磁控溅射台上分子泵与真空镀膜机中的哪个部件功能类似?
A.
机械泵
B.
油扩散泵
C.
热偶计
D.
真空泵
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A.
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A.
10 -2 -10 -6 Torr
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10 -6 -10 -10 Torr
C.
1.3 × 10 -2 -1.3 × 10 -6 Pa
D.
1.3 × 10 -4 -1.3 × 10 -8 Pa
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A.
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A.
3.117
B.
31.17
C.
311.7
D.
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A.
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油扩散泵
C.
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D.
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