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【判断题】

离子注入机可用于微电子线路加工

A.
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B.
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题目标签：注入机离子注入机微电子
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举一反三

【单选题】离子注入机中，用于筛除同位素，保障高纯度离子注入的装置是
A.
萃取电极
B.
质谱仪
C.
加速电极
D.
电荷中性化系统
查看完整题目与答案

【简答题】微电子工艺实验室净化的三道防线分别是()()、()()及()()。
查看完整题目与答案

【单选题】离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，其中，（ ）是离子注入机的核心部位。
A.
加速器
B.
质量分析器
C.
四级透镜
D.
离子源
查看完整题目与答案

【单选题】微电子相敏接收器绿灯闪：表示（）。
A.
表示轨道电路空闲
B.
表示有车占用
C.
24V直流电源正常
D.
表示局部电源故障
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【简答题】[名词解释] 微电子
查看完整题目与答案
电子与通信技术>集成电路工艺原理考试题目

【单选题】离子注入机中离子产生说法正确的是（）
A.
通过热电子轰击气体原子，离子源产生离子
B.
热电子通常由热钨丝源产生
C.
I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体
D.
其余都正确
查看完整题目与答案

【简答题】简述微电子工艺的特点
查看完整题目与答案

【单选题】离子注入机通过什么控制注入SiWafer的深度？（）
A.
通过控制注入速度（能量）
B.
通过控制注入电压
C.
通过控制注入电流
D.
通过控制注入电阻
查看完整题目与答案

【多选题】微电子产业的特点有( )。
A.
商品寿命短
B.
技术含量高，人才需要大
C.
对材料及产品可靠性要求高
D.
制造环境要求高
查看完整题目与答案

【简答题】为了避免离子在散射开始前就深入晶体内,大多数离子注入机会选择()的角度向晶圆发射离子束。
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【单选题】离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，其中，（ ）是离子注入机的核心部位。
A.
加速器
B.
质量分析器
C.
四级透镜
D.
离子源
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【单选题】微电子相敏接收器绿灯闪：表示（）。
A.
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24V直流电源正常
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A.
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B.
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I/SMagnet可以增加电离并稳定离子体
D.
其余都正确
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A.
通过控制注入速度（能量）
B.
通过控制注入电压
C.
通过控制注入电流
D.
通过控制注入电阻
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A.
商品寿命短
B.
技术含量高，人才需要大
C.
对材料及产品可靠性要求高
D.
制造环境要求高
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【简答题】为了避免离子在散射开始前就深入晶体内,大多数离子注入机会选择()的角度向晶圆发射离子束。
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