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【多选题】

划片划好放入氮气柜待加工的晶圆必须注意()

A.
摆放整齐端正
B.
确保卡物不分离且流程卡
C.
晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D.
晶圆提篮的卡环必须卡上
E.
注意氮气流量阀门是否打开
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【单选题】气柜各部件中预制的关键是( )。

A.
导轨预制
B.
立柱预制
C.
上、下水封预制
D.
拱顶骨架预制
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