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> 反应离子刻蚀
"反应离子刻蚀"相关考试题目
1.
简述反应离子刻蚀。
2.
反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。
3.
阐述反应离子刻蚀的特点。
4.
反应离子刻蚀是离子轰击辅助的化学反应过程，其主要过程可以概括为（ ）。
