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> 快速热处理
"快速热处理"相关考试题目
1.
快速热处理设备（RTP）的主要热交换机制是（），常用热源是（）。RTP的主要优点是 （）。
2.
快速热处理对杂质扩散有促进作用,其促进机制有哪几种?
3.
什么是快速热处理，相比于系统炉其6大优点是什么？
4.
快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。
5.
快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。
6.
扩散法掺杂工艺通常需要经过快速热处理。
7.
快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。
8.
快速热处理系统采用 方式,常规热扩散采用的是电阻炉加热。
9.
离子注入后为什么要退火，高温退火和快速热处理哪个更优越，为什么？
10.
试解释目前快速热处理(RTP)设备中使用多区加热的原因。
11.
快速热处理是一种小型的快速加热系统,带有辐射热和冷却源,通常一次处理许多片硅片。
12.
快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。
