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> 离子刻蚀
"离子刻蚀"相关考试题目
1.
简述反应离子刻蚀。
2.
反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。
3.
什么是等离子刻蚀？
4.
阐述反应离子刻蚀的特点。
5.
等离子刻蚀属于( )刻蚀。
