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> 各向异性刻蚀
"各向异性刻蚀"相关考试题目
1.
举例说明各向同性和各向异性刻蚀的特点。
2.
湿法刻蚀的选择性比较好,但是为各向异性刻蚀。
3.
湿法刻蚀属各向异性刻蚀,只在垂直于基片表面的方向上进行,可得到垂直侧墙。
4.
干法刻蚀比较清洁,各向异性刻蚀,分辨率比较高。